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设备、设施管理 标题 文件编号 编写人 审核人 批准人 制定部门：生产技术部 洁净区尘埃粒子数监测标准操作规程 执行日期 编写日期 审核日期 批准日期 分发至：生产技术部、班组
目 的：建立洁净区尘埃粒子数监测标准操作规程，规范悬浮粒子测试，确保测试结果
的准确性。
适用范围：洁净生产区净化空气悬浮粒子的测试。
责 任：悬浮粒子测试人员执行本规程，质管部经理负责监督检查本规程的正确实施。
1 测试方法 1.1 方法提要
本测试方法采用计数浓度法，即通过测定洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某粒径的悬浮粒子数，来评定洁净室（区）的悬浮粒子洁净度等级。 1.2 测试仪器：CLJ-1尘埃粒子计数器 1.3 操作步骤
1.3.1仪器开机接通电源，预热至稳定后，将采样管接入仪器自净口，仪器开始自净至悬浮
粒子数为零。
1.3.2采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数。 2 测试规则
2.1 测试条件：洁净室（区）的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制在
18℃--26℃，相对湿度控制在45%--65%之间为宜）。
2.2 测试状态：静态测试时，室内测试人员不得多于2人。测试报告见厂房洁净度悬浮粒子
监测记录表。
2.3测试时间：测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。 3 悬浮粒子计数 3.1采样点数目及其布置
悬浮粒子洁净度监测的采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。洁净厂房洁净度监测采样点，按采样点布置的规则（见附录：采样点布置）采样。 3.2.悬浮粒子洁净度测试的最少采样点数目可查表1确定。
表1： 最少采样点数目
面 积 m2 <10 ≥10 <20 ≥20 <40 ≥40 <100 ≥100 <200 洁 净 度 级 别 10 000 2 2 2 4 10 100 000 2 2 2 2 3 注：表中的面积，对于单向流洁净室，指的是送风面积；对非单向流洁净室，指的是房间面积。 3.3 采样点的位置
a）采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置。
b) 采样点多于5点时，也可以在离地面0.8m—1.5m高度的区域内分层布置，但每层不少于5点。 3.4 采样点的限定
对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目不得少于2个，总采样次数不得少于5次。每个采样点的采样次数可以多于1次，且不同采样点的采样次数可以不同。 3.5 采样量
每次最小的采样量见表2。
表2 最小采样量
洁净度级别 ≥0.5μm 100000 3.6采样注意事项 3.6.1采样管口宜向上。
3.6.2布置采样点时，应避开回风口。
3.6.3采样时，测试人员应在采样口的下风侧。 4结果计算
悬浮粒子浓度的采样数据应按下述步骤作统计计算： 4.1采样点的粒子浓度
CI =C0 ×1000/2.83 ………………(1) 式中：CI -----某一采样点的平均粒子浓度，粒/m3； C0-----某一采样点的粒子浓度（仪器读数），粒/L； 4.2采样点的平均粒子浓度
C1+C2+…+CN
A＝ ………………(2) N
式中：A-----某一采样点的平均粒子浓度，粒/m3；
Ci----某一采样点的粒子浓度（i=1,2，…，N），粒/ m3； N-----某一采样点上的采样次数，次。
4.3平均值的均值
A1+A2+…+AL
M＝ ………………(3) L
式中：M-----平均值的均值，即洁净室（区）的平均粒子浓度，粒/m3； Ai-----某一采样点的平均粒子浓度（i=1,2，…，L），粒/ m3； L-----某一洁净室（区）内的总采样点数，个。 5结果评定
判断悬浮粒子洁净度级别应依据下述条件： 5.1洁净室（区）空气洁净度级别表
2.83 ≥5μm 8.5 采样量，L/次 尘粒最大允许数/立方米 洁净度级别 10,000级 100,000级
5.2每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限，即Ai≤级别界限。 附录：
采 样 点 布 置
洁净室和洁净区采样点的布置力求均匀，避免采样点在某局部区域过于集中，某局部区域过于稀疏。下列采样点布置图可作参考：
≥0.5μm 350,000 3,500,000 ≥ 5μm 2,000 20,000
洁净区尘埃粒子监测记录
监测频次：1次/季 日 期
地 点 尘埃粒子 记 录 人