专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：用以处理柔性基板的处理系统和方法专利类型：发明专利
发明人：赖纳·格特曼,汉斯-格奥尔格·洛兹申请号：CN201680087300.5申请日：20160701公开号：CN109477210A公开日：20190315
摘要：根据本公开的一个方面，提供一种用于处理柔性基板(10)的处理系统(100)。所述处理系统包括：真空腔室(11)；传送系统，配置以沿基板传送路径(P)导引柔性基板(10)通过真空腔室(11)，其中传送系统包括第一基板支撑件(22)及相隔第一基板支撑件(22)一距离布置的第二基板支撑件(24)；及检查系统，用于检查柔性基板(10)。检查系统包括：光源(30)，配置以导引光束(31)通过在第一基板支撑件(22)与第二基板支撑件(24)之间的柔性基板(10)的一部分；及光检测器(40)，用于检测光束(31)来执行柔性基板(10)的透射率测量，其中光源(30)及光检测器(40)中的至少一个布置在环境中，环境配置以用于与真空腔室(11)中的第一压力水平不同的第二压力水平。根据本发明的再一方面，提供一种沉积设备。根据本发明的又一方面，提供一种用于处理柔性基板的方法。
申请人：应用材料公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：北京律诚同业知识产权代理有限公司
更多信息请下载全文后查看