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专利名称：一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器及其制作方法专利类型：发明专利
发明人：姜澜,江毅,王鹏,王素梅,刘达申请号：CN201510282041.9申请日：20150528公开号：CN104880267A公开日：20150902
摘要：本发明涉及一种光纤微纳法珀干涉型压力传感器及其制作方法，属于光纤传感器技术领域；所述压力传感器由一根端面带有微孔的光纤(1)和一段端面完整的光纤膜片(2)熔接构成，所述熔接面与微孔构成内嵌的法布里-珀罗微腔；制作方法：用飞秒激光在一根光纤的端面加工出微孔，此光纤与另一根端面完整的光纤熔接构成法珀微腔，切除并研磨一端的光纤长度至几微米，构成光纤薄膜，形成微纳结构的压力传感器。对比现有传感器，由于传感头是微纳尺寸，温度对压力测量的交叉影响小；使用性能相同的石英材料制成，热膨胀系数一致，结构稳定；综合材质及制作过程，本发明压力传感器具有耐高温，微结构，抗电磁干扰，抗污染，高可靠性和高精度的特点。
申请人：北京理工大学
地址：100081 北京市海淀区中关村南大街5号北京理工大学
国籍：CN
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