（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利说明书
（21）申请号 CN201610247599.8 （22）申请日 2016.04.19
（71）申请人 温州巨亮光伏科技有限公司
地址 325000 浙江省温州市经济技术开发区滨海园区明珠路687号
（10）申请公布号 CN105734675B
（43）申请公布日 2017.12.19
（72）发明人 蔡伦
（74）专利代理机构 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)
代理人 翟羽
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种晶圆氧化用高温扩散炉管
（57）摘要
本发明公开了一种晶圆氧化用高温扩
散炉管，包括炉管本体，炉管本体内具有内腔，在炉管本体的一端设有第一进气口，第一进气口上设有第一匀气装置，第一匀气装置连接外部的第一进气管，在炉管本体的另一端设有第二进气口，第二进气口上设有第二匀气装置，第二匀气装置连接外部的第二进气管，且第一进气口设置在炉管本体一侧的上端，第二进气口设置在炉管本体另一侧的下端，在炉管本体的下端设有尾气排放口，尾气排放口设有过滤装置，过滤装置连
接外部的尾气管道，本发明采用非对称设置的两个进气口，且均在进气口处安装匀气装置，能够进一步过滤进入内腔的气体，同时能够保证气体的均匀性，提高晶圆氧化的均匀性。 法律状态
法律状态公告日2016-07-06 2016-07-06 2016-08-03 2016-08-03 2017-12-19
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权
法律状态
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权
权利要求说明书
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说明书
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