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用于多晶硅副产物四氯化硅处理的脱酸器[发明专利]

来源:华拓科技网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:用于多晶硅副产物四氯化硅处理的脱酸器专利类型:发明专利

发明人:严大洲,毋克力,肖荣晖,汤传斌,谢正和,杜俊平,谢冬

晖,汪绍芬,郭富东

申请号:CN201110066586.8申请日:20110318公开号:CN102167332A公开日:20110831

摘要:本发明提出一种用于多晶硅副产物四氯化硅处理的脱酸器,包括:脱酸器本体,所述脱酸器本体内限定有脱酸腔,所述脱酸器本体的上部设有尾气出口和脱酸器出料口,所述脱酸器本体的下部设有脱酸蒸汽入口和脱酸器进料口;和加热管,所述电加热管设置在所述脱酸器本体上且伸入所述脱酸腔内。根据本发明的脱酸器用在用多晶硅副产物四氯化硅生产二氧化硅中,用于分离与氯化氢分离后的二氧化硅表面附着的氯化氢,从而得到二氧化硅产品,脱去的氯化氢可以用于制酸,该脱酸器脱酸效果好,结构简单,成本低。

申请人:中国恩菲工程技术有限公司

地址:100038 北京市海淀区复兴路12号

国籍:CN

代理机构:北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人:宋合成

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