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β-GaO纳米线及其气体传感器的制备和实现快速响应的气体传感方法[

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:β-GaO纳米线及其气体传感器的制备和实现快速

响应的气体传感方法

专利类型:发明专利

发明人:王太宏,丰平,张杰,万青,许春梅,薛欣宇,刘永刚,虞红

申请号:CN200610032169.0申请日:20060901公开号:CN101135659A公开日:20080305

摘要:一种β-GaO纳米线及其气体传感器的制备和实现快速响应的气体传感方法。纳米线制备是:在硅衬底上沉积金膜;将镓颗粒放入舟中,衬底放在距舟适当处,加热、保温;加热炉内通氮气;炉冷却到室温后,产物在衬底上生成;传感器制备是:一定厚度金电极沉积到有SiO层的硅衬底上,两电极距离约1μm;将单根纳米线放到电极上;引线连接,再经老化处理。传感器的快速氧气响应:开始时,纳米线中自由载流子浓度很低,通过氧调节其电导非常弱,在紫外光光照下,通过纳米线的电流增加到一定值,短时间反映了氧气浓度;光照关闭后,光生载流子迅速再结合,光驱动氧气传感特性消失。传感器响应时间快、灵敏度高,适合于规模化的工业生产。

申请人:湖南大学

地址:410082 湖南沙市岳麓山

国籍:CN

代理机构:长沙正奇专利事务所有限责任公司

代理人:马强

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