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专利名称：基于双光路红外反射法的涂层测厚仪的测厚方法专利类型：发明专利
发明人：陆观,徐一鸣,邱自学,马鑫勇,邓勇,袁江,邵建新,蔡婷申请号：CN201810742842.2申请日：20160905公开号：CN1087596A公开日：20181106
摘要：本发明公开了一种基于双光路红外反射法的涂层测厚仪的测厚方法，所述涂层测厚仪包括暗盒、红外激光光源、凸透镜、2.32μm滤光片、2.23μm滤光片、平面反射镜、第一次检测器、分光棱镜、凹面镜、第二主检测器、第二次检测器、导光管、第一主检测器；测厚时光线经滤光片、分光棱镜传送至次检测器，或经滤光片、分光棱镜、待测图层、凹面镜/凸透镜后传送至主检测器，经主/次检测器数据处理后可求得涂层厚度。使用双光路结构，可实现该系统对涂层厚度的实时测量。本发明可以获取参考物各局部标准厚度，从而能够更加精确地测量涂层厚度。
申请人：南通大学
地址：226019 江苏省南通市啬园路9号
国籍：CN
代理机构：南通市永通专利事务所(普通合伙)
代理人：葛雷
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