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专利名称：压电振动片的制造方法、压电振动片、压电振动
器、振荡器、电子设备及电波钟
专利类型：发明专利发明人：色川大城
申请号：CN201210033002.1申请日：20120207公开号：CN102629857A公开日：20120808
摘要：本发明提供抑制制造工时的增加、制造效率的下降、及振动特性的变动，并且能在压电板上均匀地形成覆膜图案的压电振动片的制造方法、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。其特征在于：利用形成装置(71)进行光刻胶膜形成工序，该形成装置(71)具有朝着圆片(S)上的金属膜(43)产生气流而将抗蚀剂材料喷雾的喷雾器(73)、和配置在工件托盘(72)及圆片(S)之间的多个间隔部(74)。
申请人：精工电子有限公司
地址：日本千叶县千叶市
国籍：JP
代理机构：中国专利代理()有限公司
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