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专利名称：半导体器件测试仪器和用于该测试仪器的测试盘专利类型：发明专利
发明人：伊藤明彦,小林义仁,增尾芳幸,山下毅申请号：CN98801238.3申请日：19980702公开号：CN1237245A公开日：19991201
摘要：一种IC测试器,能够减少完成对所有要测试的IC的测试需要的时间。恒温室(4)和退出室(5)的深度(在Y轴方向的长度),扩充了大致对应于矩形测试盘(3)的横边的长度(短边的长度),在从恒温室(4)中的保温室(41)经恒温室(4)中的测试部分(42)伸展到退出室(5)的通道的部分中,提供了两条基本平行的测试盘输送通道或者加宽的测试盘输送通道,能够沿着两条输送通道或加宽的测试盘输送通道同时输送两个测试盘,这两个测试盘在横过两条平行的测试盘输送通道的方向上并列安排。
申请人：株式会社爱德万测试
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：柳沈知识产权律师事务所
代理人：马莹
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